固有誤差主要來源于測(cè)量?jī)x器自身的缺陷，如儀器的結(jié)構(gòu)、原理、使用、安裝、測(cè)量方法及其測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)傳遞等造成的誤差。固有誤差的大小直接反映了該測(cè)量?jī)x器的準(zhǔn)確度。一般固有誤差都是對(duì)示值誤差而言，因此固有誤差是測(cè)量?jī)x器劃分準(zhǔn)確度的重要依據(jù)。測(cè)量?jī)x器的最大允許誤差就是測(cè)量?jī)x器在參考條件下，反映測(cè)量?jī)x器自身存在的所允許的固有誤差極限值。

　　固有誤差是相對(duì)于附加誤差而言的。附加誤差就是測(cè)量?jī)x器在非標(biāo)準(zhǔn)條件下所增加的誤差。額定操作條件、極限條件等都屬于非標(biāo)準(zhǔn)條件。非標(biāo)準(zhǔn)(即參考)條件下工作的測(cè)量?jī)x器的誤差，必然會(huì)比參考條件下的固有誤差要大一些，這個(gè)增加的部分就是附加誤差。它主要是由于影響量超出參考條件規(guī)定的范圍，對(duì)測(cè)量?jī)x器帶來影響的所增加的誤差，即屬于外界因素所造成的誤差。因此測(cè)量?jī)x器使用時(shí)與檢定、校準(zhǔn)時(shí)因環(huán)境條件不同而引起的誤差，就是附加誤差；測(cè)量?jī)x器在靜態(tài)條件下檢定、校準(zhǔn)，而在實(shí)際動(dòng)態(tài)條件下使用，則也會(huì)帶來附加誤差。